超純水中有機物濃度(TOC)的重要性
即使是超純水系統，也會依使用狀況，在剛開始取水時有水質不穩定的情形發生。圖１為長時間停止運作的超純水系統，重新運作後所採得超純水，其比阻抗值與 TOC 值的變化情形。結果顯示，所取水質的比阻抗值雖都在 18.2 MΩ．cm，但系統剛開始運作時的水質卻有很高的 TOC 值。而隨著取水量的增加，超純水的 TOC 值也會跟著下降。由此可知，取水初期的超純水水質並不安定，即使使用適當的純化方法，原因在於滯留於超純水系統中的超純水水質仍有劣化的可能。這時候，若不對水質進行監測，便無法獲得品質安定的實驗用超純水。而為了獲得品質安定的實驗用超純水，除了比阻抗值之外，使用者還要對其有機物含量進行監測。
之前提過，由於超純水的 TOC 值與 HPLC 分析的背景值為正相關，所以超純水的 TOC 值對 HPLC 的分析具影響性已經是確知的。也就是，如果不能獲得 TOC 值穩定的超純水，HPLC 分析就不能獲得安定的背景值，就無法獲得具再現性的結果。
由於超純水中的微量有機物會對分析樣品的微量化與分析高靈敏度化的要求造成不良影響。因此，使用者分別利用比阻抗計與 TOC 計對超純水中無機物及有機物含量進行管理是必須的。
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